超声清洗的主要机理是超声波的空化作用，所以在实际测量超声清洗的声场时，或直接测量超声场的物理量，或者间接测量超声场的空化强度。主要分为以下几种测量方法：

   1、水听器法：

   水听器是把水下声压信号转换为电信号的电声换能器，它可以用来测量声场的声压。水听器可分为标准水听器和测量水听器两类，标准水听器是经过绝对校验的水听器，性能稳定。测量水听器是用作实验室或工厂声压计量的二级标准水听器，一般的声压测量就使用此类水听器。

   2、铝箔腐蚀法：

   这种方法将厚度为20-30um的铝箔置于清洗声场中受空化腐蚀，过一段时间后取出，测出由于腐蚀而损失的质量，以损失量的大小来衡量声场强度。

   3、热色体

   该方法是将纸板放入一定浓度的染料水溶液中，在声场作用下，染料将优先附着在声场较强处。这样经过声场短时间辐射后，在纸上就可以得到代表声场空间分布的染料图案。

   4、实时谱分析和统计平均法

   该方法先用水听器获取声场信号，然后输入到宽带实时谱分析仪中进行统计处理，其中水听器在测量频率范围内要有较平坦的响应和较大的动态范围。实时谱分析和统计平均法可以用来比较不同清洗机的空化清洗性能，若要对清洗设备的空化声场做定量测量，则需统一规定测量环境以及对接受换能器的性能、位置等的测试设备性能加以规范化，同时该方法对操作者的技术要求测量比较严格，一些企业已经用此方法来评估超声设备的性能和处理效果。